项目HJ Union 100自动机规格有效检测区域400x400mm、1000x1000mm、（可根据客户要求定制）最大扫描速度 1500mm/s采样通道数2~4通道（可根据客户要求定制）扫描方式A扫、B扫、C扫、T扫、Tray扫等采样频率标配每通道1G/s，选配每通道5G/s探头频率1~500MHz扫描闸门时间范围最小1 ns，最大100,000 ns最大分层切片数 400层最小缺陷精度5um上
